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上海广川取得吸附夹持式晶圆翻转装置，支持吸附与夹持双模式:吸附式干燥机
金融界2025年5月3日消息，国家知识信息显示，上海广川科技有限公司取得一项名为“种吸附夹持式晶圆翻转装置”的，授权公告号CN222801783U，申请日期为2024年4月吸附式干燥机
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金融界2025年5月3日消息，国家知识信息显示，上海广川科技有限公司取得一项名为“种吸附夹持式晶圆翻转装置”的，授权公告号CN222801783U，申请日期为2024年4月吸附式干燥机