上海广川取得吸附夹持式晶圆翻转装置,支持吸附与夹持双模式:吸附式干燥机

金融界2025年5月3日消息,国家知识信息显示,上海广川科技有限公司取得一项名为“种吸附夹持式晶圆翻转装置”的,授权公告号 CN 222801783 U,申请日期为 2024 年 4 月 吸附式干燥机

摘要显示,本实用提供了一种吸附夹持式晶圆翻转装置包括:基座、手指单元、翻转单元、伸缩单元,翻转单元包括:旋转传动机构、主转轴、第一轴承组件、气管件,主转轴经第一轴承组件与基座的主轴孔转轴连接,主转轴上设有气道,且气道的两端口分设在主转轴头部及中部,旋转传动机构与主转轴传动连接;手指单元与主转轴头部连接,手指单元上吸盘对应的气路经气管件与主转轴头部气道端口连通;伸缩单元包括:伸缩传动机构,推杆,第二轴承组件,伸缩传动机构固定在基座一侧,第二轴承组件固定在伸缩传动机构的伸缩端,推杆尾端与第二轴承组件的轴承端连接、杆体伸入主转轴的轴心孔道,与手指单元的限位端组成晶圆支撑点吸附式干燥机。籍此以支持吸附与夹持双模式。

天眼查资料显示,上海广川科技有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业吸附式干燥机。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海广川科技有限公司参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息15条,信息164条,此外企业还拥有行政许可18个。

来源:金融界

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